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扫描电镜的结构及主要性能对比

   扫描电镜的结构及主要性能

  扫描电镜可粗略分为镜体和电源电路系统两部分。镜体部分由电子光学系统、信号收集和显示系统以及真空抽气系统组成。

蔡司扫描电镜

  图1 扫描电镜结构示意图

  1 电子光学系统

  由电子枪,电磁透镜,扫描线圈和样品室等部件组成。其作用是用来获得扫描电子束,作为信号的激发源。为了获得较高的信号强度和图像分辨率,扫描电子束应具有较高的亮度和尽可能小的束斑直径。

  2 信号收集及显示系统

  检测样品在入射电子作用下产生的物理信号,然后经视频放大作为显像系统的调制信号。现在普遍使用的是电子检测器,它由闪烁体,光导管和光电倍增器所组成。

  3 真空系统

  真空系统的作用是为保证电子光学系统正常工作,防止样品污染,一般情况下要求保持10-4~10-5Torr的真空度。

  4 电源系统

  电源系统由稳压,稳流及相应的安全保护电路所组成,其作用是提供扫描电镜各部分所需的电源。

  5 各类显微镜主要性能的比较

蔡司扫描电镜

  表1 各类显微镜性能的比较

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