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扫描电镜SEM基本操作方法

   扫描电镜SEM的基本操作

  要获得一张清晰的电镜照片,必须要能够做好*基本的电镜操作、以及针对各种样品做出工作条件的优化。

  基本操作包括熟练的调节对焦和消像散。对焦相对容易,改变焦距,直至图像*清楚的时刻即为合焦。在偏离焦距较多的时候可以用较高的灵敏度,在合焦点附近调低灵敏度,以便进行精确对焦。

  基本操作中消像散相对来说比较麻烦,特别是像散很大时,对于很多初学者来说调节比较困难。不过前面已经介绍了像散的产生,电子束由于不再是圆形,所以在像散未消除的情况下,图像是不清晰的。不过其中有两个特殊的位置,即光学中的子午和弧矢,在这两个位置上束斑完全成正交的直线。而明晰圆一般在弧矢和子午的中间。

蔡司扫描电镜

蔡司扫描电镜

  所以反映在电镜图像上,改变焦距的时候会出现两个严重的拉伸,拉伸方向可能因样品而不同,但是这两个拉伸方向一定正交。所以此时将焦距调节至两个拉伸明显状态的中间位置,基本固定焦距。然后在此焦距下,进行消像散线圈的调节,先调X或Y中的一个维度,待图像达到*清楚后再调节另一个维度。

  有关拉伸方向的判断并不困难,试样中的各种特征点都可以作为判断依据,比如孔洞或者颗粒(如图5-2),或者样品边缘,都可以轻易的进行判断。尤其在像散比较大时,不要焦距和像散的两个维度乱调一气,以免像散过大而完全无从判断。

蔡司扫描电镜

  图5-2 孔洞、颗粒的像散判断

  消像散、对焦是扫描电镜操作中*基本的要求,在进行图像观察时要时刻保持合焦和无像散的状态。

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