蔡司扫描电镜的关机及烘烤步骤

 上期蔡司代理昆山友硕小编讲了蔡司扫描电镜的开机步骤，今天就接着讲一下蔡司扫描电镜的关机步骤及烘烤步骤。

　　关机步骤

　　1、关高压(EHT)和灯丝。

　　2、关SmartSEM软件。

　　注意:分两步，先关用户界面User Interface,后关后台程序EM Server.

　　3、关Windows.

　　4、关能谱、 EBSD.

　　5、按下黄键，等待~10秒钟。

　　等待电子光学系统、样品台及检测系统电源关闭。

　　6、按下红键。

　　7、关循环水冷机。

　　8、必要时，关氮气总阀门。

　　9、必要时，关UPS.

　　10、必要时，关墙上空气开关。

　　烘烤步骤

　　1、确认高压(EHT)和灯 丝关闭。

　　2、拨出高压电线。

　　先松开四颗螺丝，拔出高压头。

　　3、打开监控软件Gun Monitor.

　　设置监控Gun Vacuum和System Vacuum参数，时间间隔1s。

　　4、开始烘烤

　　菜单栏Tools- go to panel→bakeout,打开Bakeout界面，设定加热时间8~20h，冷却时间设为2h，开始。

　　5、烘烤完成

　　结束后检查枪真空值，一般小于1X 10°mBar。关闭Gun Monitor。插入高压头，锁紧。