蔡司扫描电镜ZEISS Sigma系列太阳能电池形貌观测

 　　太阳能电池根据其材料不同可分为晶体硅太阳能电池和薄膜太阳能电池。以P型硅片为基础的PERC电池(背面钝化电池)是目前市场上的主流技术路线，以N型硅片为基础的TOPCon电池(隧穿氧化层钝化接触电池)和HJT电池(异质结电池)则已经成为了近年来各厂商发展的重点。

　　▲ 太阳能电池结构示意图

　　太阳能电池的生产步骤十分复杂，包括，制绒，扩散，界面钝化，刻蚀，丝网印刷等步骤。制造商在生产过程中必须保证硅片上离子扩散的均匀性，钝化层厚度的均一性等。利用蔡司的工业显微镜技术可以实现对硅片微观形貌的观察和管控。如在P-N结的制结中需要扩散磷或硼元素，利用EDS(X射线能谱仪)可实现对样品元素分布的分析。在进行界面钝化或镀膜制备中会用到如PVD技术，CVD技术，ALD技术等，而不同技术手段则各有优劣，膜层的均匀性，致密性对产品性能有着举足轻重的影响，利用聚焦离子束扫描电镜(FIB)切割截面，配合蔡司扫描电镜(SEM)可实现对微观样品截面的形貌观测。

　　蔡司扫描电镜(SEM)ZEISS Sigma系列

　　分析测试平台的理想之选，直观的图像采集

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　　可在1 kV和更低电压下分辨差异，实现更高的分辨率和优化的衬度。

　　可在极端条件下执行可变压力成像，获得出色的非导体成像结果。